視頻采集技術在四探針測試系統(tǒng)中的應用

　　四探針測試技術是半導體生產(chǎn)中主要監(jiān)測手段之一，并且在半導體材料的測量中發(fā)揮著越來越重要的作用。四探針測試技術是一種高的精度測量技術，在有些情況下還需要有高分辨率。每一種四探針法對探針的結構、位置和針尖距都有不同的要求，一般情況下，針距都是很小的，可能低于1mm。在大片徑樣品測量中，要盡可能地減小測量區(qū)域，以便更好地觀測樣品電阻率的不均勻性。
 

　　鑒于以上原因，在測量時需要對測試臺、樣品和探針都進行細微的實時監(jiān)測，保證測量是在允許的情況下進行的。但是人的肉眼的分辨率有限，直接依靠肉眼觀測容易疲勞而產(chǎn)生誤判，而且不能進行記錄，會給測量結果帶來很大的誤差。通常情況下可以通過顯微鏡解決肉眼分辨率低的問題，但是檢測起來還是相當麻煩。視頻采集技術的發(fā)展可以很好地解決以上問題，能對測試過程進行圖像采集、記錄和分析，達到實時監(jiān)測的要求，而且有很高的分辨率，方便測量員對測量過程的控制。
 

　　視頻采集技術在四探針測量中發(fā)揮著重要作用，主要體現(xiàn)在兩個方面：
 

　　1)對顯微鏡監(jiān)測對象的圖像進行實時采集；
 

　　2)對采集到的視頻數(shù)據(jù)進行處理，包括分析、記錄和顯示。一般可以借助計算機實現(xiàn)視頻信息的記錄與顯示，從而使得傳統(tǒng)的探針測試臺與計算機技術緊密地結合起來。
 

　　視頻采集技術的引進實現(xiàn)了對四探針測量過程真正意義上實時監(jiān)測，提高了測試儀的控制精確性，從而提高了測量結果的精度和性，尤其對觀測樣品電阻率的不均勻性有很大的幫助。