新材料電阻率測定直排四探針法——確定電學測量裝置的適用性和度

新材料電阻率測定直排四探針法——確定電學測量裝置的適用性和度

5.3確定電學測量裝置的適用性和度

5.3.1將恒流源短路或關閉，斷開探針裝置與電學測量裝置的連接。

5.3.2按表2選擇模擬電路中電阻r的阻值.將電流引線（圖2中1和4）接到模擬電路電流端，將電壓引線（圖2中2和3）接到模擬電路的電壓端。

5.3.3  如果采用直接測量電阻（電壓-電流比值）儀器，按5.3.5條進行，否則如下進行：讓電流在任一方向（稱之為正向），調節電流大小到近似于表4推薦的圓片測量電流值，測量標準電阻兩端的電勢差V_af，或直接測量流過模擬電路的電流I_sf，再測量模擬電路的電勢差V_af。將電流換向，測量V_sf或I_sf，和V_KI記入表3a。

5.3.4  重復 5.3.3條操作，直到每一極性進行了5次測量。然后按5.3.6條進行。

5.3.5 用直接測量電阻的儀器。開始在任一極性上（稱之為正向）測量模擬電路的正向電阻r_f。改變連接極性，測量反向電阻r_r。繼續改變極性進行測量，直到每-極性進行了5次測量。記入表3b。

5.3.6   按6.2條計算平均電阻r和標準偏差a。

5.3.7   電學測量裝置應滿足下述條件：

5.3.7.1   r 值應在已知r值的0. 3%以內。

5.3.7.2   樣品標準偏差σ 應小于r下的0.3%。

5.3.7.3   設備應能測量出0.05%電阻的變化。